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激光椭偏测厚仪器
发布时间: 2009-06-15 20:55:33




【产品简介】

      HST-1/3多功能椭偏测厚仪器是我公司最近推出的教学科研仪器系列产品之一,主要用于固体表面纳米级薄膜厚度和折射率、金属的复折射率。此外,还可以用于研究固体表面及其膜层的光学特性,在半导体、金属材料、光学、化学、生物学及医学领域有广泛的应用。

     特点:

      使用方便,简单;
      测量精度可达±0.5nm和±0.01;
      全自动化,电脑操作,性价比高;

【技术参数】

    测量薄膜厚度范围:1~300nm(70°入射角,一个周期),折射率范围:05~2.50;
    起偏角 P 和 A 的读取分辨为0.05°,范围0~180°;
    测量膜厚和折射率重复性精度分别为±0.5nm和±0.01;
    入射角连续调节范围:30°~90°;
    入射光波长:635.0nm;
    样品真空吸附装置且可一维扫描(选件)。

【产品方案】
   椭圆偏振法简称椭偏法,是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。椭偏法的基本原理由于数学处理的困难,直到本世纪40年代计算机出现以后才发展起来。椭偏法的测量经过几十年来的不断改进,已从手动进入到全自动、变入射角、变波长和实时监测,极大地促进了纳米技术的发展。椭偏法的测量精度很高(比一般的干涉法高一至二个数量级),测量灵敏度也很高(可探测生长中的薄膜小于0.1nm的厚度变化)。利用椭偏法可以测量薄膜的厚度和折射率,也可以测定材料的吸收系数或金属的复折射率等光学参数。因此,椭偏法在半导体材料、光学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。
 
  系统连接结构示意图
 
1.主机接口  2.电脑接口  3.电源插座  4.保险丝  5.编码器  6.光电接收器  7.检偏器   8.样品平台   9.电机  10.1/4λ波片   11.BNC接口  12.起偏器  13.激光器  14.电脑主机



 
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